先锋泰坦携手德国Crylas 推出单频连续深紫外266nm 200mW高功率激光器中国区样机

近日，先锋泰坦正式启动德国 Crylas FQCW266 系列 266nm 单频连续波全固态激光器全国巡回演示活动，现已全国开放 FQCW266-200 型号 200mW 深紫外稳频激光器样机演示，面向半导体、光学科研、精密计量领域客户开放现场样机测试、上门试用服务，助力用户完成方案验证与工艺评估。

品牌背景：德国 CryLas 深耕深紫外激光领域，先锋泰坦提供本地化服务

德国 CryLaS GmbH 总部坐落柏林，深耕微片技术全固态激光器研发制造，拥有多项国际专利（DE10339210B4、US7027209B2 等），产品线覆盖 213/266/355/532/1064nm 脉冲 / 连续光源，是全球窄线宽深紫外连续激光标杆厂商。

先锋科技公司作为德国CrylaS公司全球明星代理商，搭建全国本地化技术服务网络，为国内客户提供设备供应、现场演示、技术调试一体化支持。

FQCW266 系列核心技术特点

本次选用FQCW266-200中等功率型号用于巡回演示既可满功率输出用于验证晶圆检测，紫外光刻全息与计量；也可利用标配的10%-100%功率调节功能演示PL光谱激发，紫外拉曼。凭借多项专利技术（专利号：DE10339210B4、US7027209B2等），在性能上具有显著优势。

• 单纵模、窄线宽：线宽<300>1000米，远超同类产品水平；

• 全密封设计：无需现场调整内部光学元件，实现真正的“即插即用”；

• 高光束质量：TEM₀₀模，M²<1.3，接近衍射极限；

• 低噪声：强度噪声<1% RMS，功率稳定性<2% @ 8小时；

• 传导冷却：无需水冷，降低系统复杂度；

• 工业级可靠性：支持24/7连续工业运行；

• 长使用寿命：266nm深紫外四倍频晶体具备电动移点机构，使得整机可达万小时工作寿命；

• 多种功率型号：266nm深紫外稳频激光器提供10mW到1200mW多种功率型号。

FWCW266-200 型号激光参数：

光学参数：

• 波长：266±0.2 nm；

• 标称平均功率输出：200± 5 mW；

• 平均功率可调范围：20 mW to 220 mW；

• 激光线宽：<300 kHz；

• 相干长度：>1000 m；

• M² 因子：<1.3,TEMoo；

• 偏振度：Vertical,>100:1；

• 光束直径：0.6±0.1 mm；

• 发散角：<0.8 mrad；

• 静态对准公差：Lateral±0.25 mm|Angular±2.5 mrad；

• 点对点光束指向偏差：±360 μrad；

• 光束指向稳定性：<3 μrad/K|<3 μrad/h；

• 功率稳定性(预热后8小时内每秒采样2次)：<0.3%rms。

电子参数：

• 能耗 标准(最大)：<100 W(160 W)；

• 电源需求：85-264 VAC(47-63 Hz)；

• 计算机接口：USB|RS232；

• 激光防护：Key Switch |Interlock。

其他：

• 预热时间 标准（最大）：15 min(30 min)；

• 工作温度 (激光头)：20-35℃ 非结露；

• 激光头尺寸：91×270×379 mm³(HxW×L)；

• 激光电源尺寸：42×165×164 mm³(H×W×L)；

• 激光头重量：14.7 kg；

• 激光电源重量：1.0kg。

多领域落地应用场景

凭借 266nm 深紫外短波长、高光子能量、高相干特性，该系列激光器可适配多类高端精密场景：

• 半导体产业：晶圆无图形缺陷检测、掩模质检、深紫外光刻工艺开发；

• 光纤与微纳加工：FBG 布拉格光纤光栅刻写；

• 材料科研：宽禁带半导体 PL 光致发光光谱激发、深紫外拉曼光谱测试；

• 精密光学计量：深紫外全息成像、激光干涉测量系统搭建。

全国样机试用渠道开放

面向国内半导体升级、前沿光学科研发展需求，先锋泰坦持续引入海外成熟高端激光光源产品，依托全国本地化服务网络，降低客户前期设备选型、工艺验证门槛。本次 266nm 稳频连续激光器巡回演示活动长期开放样机测试通道，如需样机观摩、上门测试、产品选型及方案定制，可联系先锋泰坦各地办事处咨询对接。

企业介绍

关于德国CryLas：

先锋泰坦作为德国CryLas公司全球明星代理商，可提供 CryLas 连续波深紫外激光器、小型纳秒脉冲激光器等产品的信息展示、选型咨询与方案对接，助力用户对接符合应用需求的德国原厂激光光源解决方案。

关于先锋泰坦：

聚焦光电前沿，深耕行业多年携手数百家国际光电企业，构建长期稳定合作；从光谱仪器，到全品类光电产品矩阵，专业覆盖光谱相关产品、激光器产品、激光测量产品、太赫兹产品、光度与色度产品、光学元器件、探测器产品等核心领域以多元产品与优质服务，赋能光电产业发展。

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