聚焦超纯水质与高效节水，高频科技赋能半导体制造关键环节

当前，全球人工智能技术变革带动高端算力芯片、存储芯片需求持续爆发，国内集成电路产业迎来新一轮高速增长周期。市场调研机构Omdia最新预测显示，2026年中国半导体市场规模有望达到8120.8亿美元，行业同比增速被大幅上调至92.9%。在此背景下，作为芯片制造的基础生产要素，超纯水的水质控制与水资源循环利用，成为产业规模化、可持续化发展的关键一环。高频科技作为一家聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商，正以“超纯水质”与“高效节水”两大核心能力，助力产业增长与发展。

超纯水质，满足产线用水“芯”需求

以超纯水为核心载体的清洗工序占整个芯片制造流程的30%以上，为芯片的高良率、高性能打下基础。在此过程中，水中微量金属离子、微粒、总有机碳等任一杂质超标，都有可能造成晶圆电路缺陷，直接拉低芯片成品良率。芯片制造对超纯水的严苛要求，构筑起极高的行业技术壁垒。高频科技通过不断精进超纯水制备技术，形成了ppt级别（万亿分之一）的超纯水制备与稳定供应能力，能够充分满足下游芯片客户对生产用超纯水的高标准要求。

据了解，高频科技超纯水系统非常复杂，涉及物理、化学、光化学、机械、空气动力学、自动化等多门学科，使用过滤、吸附、离子交换、膜分离、紫外线、膜脱气等多种工艺技术，经过超18项专业专利处理工艺环节，8次增压提升，完成从预处理到抛光的全过程提纯。凭借先进的超纯工艺能力，高频科技成为国内具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商之一，先后服务多家知名芯片企业，并凭借核心技术优势赢得行业众多客户的认可。

高效节水，为半导体工厂带来多重价值“增值”

晶圆厂属于工业用水大户，越来越多半导体企业认识到，通过水资源循环技术实现节水，是具有经济效益、社会效益与品牌价值的“增值项”。高频科技将回用水处理技术与合理的方案设计相结合，可根据客户使用需要尽可能提高水的循环利用水平，其设计项目的水平衡可实现整厂用水制备回收率高达90%，大幅降低工厂新鲜水取水总量，减少废水外排，助力企业实现降本增效和可持续发展。

这背后，是一套先进的超纯水制备与循环使用方案。半导体厂区废水成分错综复杂，不同制程产生的废水水质差异显著。高频科技电子级废水处理技术可依据水体杂质特性匹配对应工艺，实现高效且经济的废水处置。同时，依托前瞻性设计能力及对制程工艺的深刻理解，可对制程机台产生的30多道废水进行合理的分流、回用，如纯水再生浓水回收、低浓度氢氟酸废水回收、研磨废水回收、酸/碱废水回收、洗涤塔废水回收等，通过适配的设备组合与工艺路线，使其得到更佳处理效果。

集成电路产业的高质量发展，既离不开芯片制程的迭代突破，也有赖于超纯水这类关键工艺配套系统的能力升级。在算力驱动的行业扩张浪潮之下，兼顾高纯度供水与水资源高效利用，正在成为半导体工厂建设的重要考量，以高频科技为代表的本土超纯水技术企业，也将持续为国内集成电路产业稳健前行提供有力支撑。

关键词：