知识产权释放高效价值，高频科技超纯工艺助力半导体发展“芯”征程

在数字化、网络化、智能化引领的新一轮科技革命与产业变革不断深化的背景下,半导体产业正迎来前所未有的发展机遇。超纯水作为半导体行业重要一环,不仅保障了芯片制造的精度与可靠性,更推动了整个产业链向更高质量、更可持续的方向发展。高频科技,作为一家聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,不断以科研创新为驱动,推进超纯工艺升级,助力行业发展迈向新高度。

超纯技术突破,为半导体制造提供高品质解决方案

在芯片过程中,超纯水被广泛应用于清洗、蚀刻、沉积、光刻等多个关键步骤。一旦超纯水中的杂质含量超标,将对半导体器件造成严重影响。比如TOC(总有机碳)过量可能导致晶圆表面污染,从而引发缺陷;硼过量会使n型硅反转,从而影响电子和空穴的浓度,进而影响到硅材料的导电性能。因此,半导体企业对超纯水水质的要求非常严苛,无形中提升了超纯水工艺的技术门槛。

在此背景下,高频科技作为本土超纯水行业的代表性企业,依托资深技术团队的力量,通过不懈的研发投入和工艺探索,公司超纯水系统制备的超纯水纯度可达ppt级别,离子含量仅万亿分之一,从而打破了国际厂商对国内超纯水系统高端市场的垄断。公司不仅成为国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,更是国内首家拥有12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。

作为国家级专精特新“小巨人”企业,高频科技始终秉承技术创新为核心驱动力,持续深化知识产权布局。截至目前,公司已累计获得70余项知识产权成果,包括发明专利、实用新型专利、软件著作权等。未来,高频科技将进一步加快技术创新步伐,为推动自身高质量发展提供更强有力的知识产权支撑,并为行业提供更高品质的超纯水产品及解决方案。

技术创新,赋能半导体可持续发展

面对降本增效的发展需要以及全球范围内日益严格的环境法规,半导体行业正迈向绿色、可持续发展。高频科技深入研究和开发废水处理及回用技术,显著提高了水资源利用效率,有效支撑了节水和降本增效目标的实现,为半导体企业的转型升级和持续发展提供了坚实的技术保障。

具体而言,高频科技凭借先进的电子级废水处理技术,高效、经济地处理超过15种芯片废水,并实现深度去除污染物;同时通过前瞻的设计能力和精细化的水资源管理,对30多道制程废水进行分流和回收,并搭配适合的设备及工艺使其得到更佳处理效果,确保了高达90%的整厂用水制备回收率,在确保水质达标的基础上,帮助企业实现降本增效,提升整体竞争力。

近年来,国家大力支持科技产业发展,积极推动半导体产业链的整合与优化,鼓励上下游企业加强合作与协同,形成完整的产业链生态。高频科技作为本土超纯水领域的重要力量,积极响应国家战略实施,未来将持续专注于超纯工艺技术的研发与创新,致力于为客户提供领先的超纯水制备与循环使用方案,为半导体产业创新发展贡献力量。

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