阿石创申报银合金靶材专利 AMOLED产线关键材料有望实现国产替代

从国家知识产权局专利查询系统获悉，阿石创（300706）（300706）一种银基合金极其制备方法、银合金复合薄膜极其应用已申报专利。据了解，该技术在AMOLED（主动矩阵有机发光二极体）显示产线中起关键作用。目前，国内使用的银合金靶材全部依赖日本和韩国进口。阿石创针对银及银合金靶材的研发突破，有望实现国产替代。

资料显示，AMOLED是新一代显示技术，在智能手机、平板电视、柔性显示、车载显示、AI等各种智能终端应用越来越广泛。作为AMOLED制程的关键环节，透明导电薄膜晶体管（TFT）是采用溅射镀膜技术在基板上沉积“ITO/Ag合金/ITO”复合薄膜构建。磁控溅射镀膜（简称“溅射镀膜”）是在真空中，利用大量高能离子轰击靶材表面，使靶材元素以原子或原子团形态被激发出来，并沉积在靶材对面的基板上，形成厚度均匀的连续薄膜的过程。靶材的纯度、致密度、组织结构等性能显著影响薄膜的性能，而薄膜性能直接决定着显示面板的良率和使用寿命。由于银合金特殊的成膜性能要求，对银合金靶材提出极高的性能要求，是AMOLED显示面板制备过程中的关键基础材料。

日本在专利2004―084065介绍了一种银合金溅射靶材及用该银合金溅射靶材形成的银合金膜,能够稳定地在大面积的FPD底板上均匀地形成兼备电子器件所要求的低电阻和高反射率,耐热性，耐蚀性以及与底板的紧密粘结性的银合金膜。以日本为主的靶材供应商正是依靠其在靶材成分上的专利优势，制造行业壁垒，形成产业垄断。其中，日本三菱布局的银-铟（Ag-In）合金系，长期占领全球银合金靶材市场。韩国、台湾部分企业也生产供应小量银合金靶材，但也绕不开日本企业的专利布局。银-铟（Ag-In）、银-钯（Ag-Pd）系列合金目前仍处在专利保护期内，国内企业不得模仿生产。

当前，我国在显示产业领域高端靶材尚未实现自主知识产权布局和自主研发生产。因此，银合金靶材供应随时面临被“卡脖子”的风险。

据测算，未来三年中国大陆AMOLED显示面板的产能将进入集中释放期，预计2022年将占据全球产能的份额达47%。仅目前投产和在建的AMOLED产线对银合金靶材的年市场需求就超过15亿元。阿石创在银合金靶材方面的技术突破，具备巨大的国产化替代空间。（中三文）

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